Vakuumbeschichtung

Die Vakuumbeschichtung ist ein spezielles Verfahren zur Beschichtung von Materialien mit bestimmten Substraten. Diese physikalische Gasphasenabscheidung zählt zu den Dünnschichttechnologien. Das Prinzip der Vakuumbeschichtung beruht auf der Einbringung des Substrats als Beschichtungsmaterial sowie dem zu beschichtenden Werkstück in eine Vakuumkammer. Nach dem Aufbau des Vakuums erfolgt die Verdampfung oder Vergasung des Beschichtungsmaterials mittels Laserstrahl oder Lichtbogen beziehungsweise durch thermisches Verdampfen. Das verdampfte Material setzt sich nun in einer dünnen Schicht in Form von Atomen oder Ionen auf dem Werkstück ab. Die Schichtstärke einer Vakuumbeschichtung wird hierbei in Nanometer oder höchstens in Mikrometer gemessen. Anwendung findet die Vakuumbeschichtung beispielsweise bei der Beschichtung von Werkzeugen mit Hartstoffen wie Titannitrid zur spanenden Bearbeitung.